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XD-301 壓電偏轉鏡是專為大負載及高動態應用而設計，它的偏轉角度可達2.8mrad，可承載Φ110×10mm鏡片（約245g)。0.2mrad 偏轉角度的響應時間為2ms，±0.1mrad 偏轉角度下的使用頻率可達250Hz。

產品特點

• θx, θy 二維偏轉

• 大偏轉角度2.8mrad

• 亞毫秒響應時間

• 閉環定位精度高

• 溫度穩定性高

產品應用

• 圖像處理/ 穩定

• 隔行掃描，抖動

• 激光掃描/ 光束偏轉與穩定

• 光學/掃描顯微

• 光過濾/ 開關

高可靠性及穩定性

XD-301系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在成熟的、經過FEA 建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩定性及可靠性。

先進的鉸鏈/ 杠桿設計將慣性小化，具有非常快的響應速度，在毫秒級范圍。

XD-301還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器（SGS）實現了的位置控制，具有優異的重復定位精度。

閉環定位精度

線性度為0.2%F.S.，重復度為0.1%F.S.。

閉環重復度

閉環重復度

開環曲線

開閉環曲線

閉環分辨率

閉環分辨率

技術參數

技術參數