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P17系列壓電掃描臺(tái)是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

特點(diǎn)

• XY二維運(yùn)動(dòng)，位移可達(dá)187.5μm

• 承載能力1kg

• 通孔尺寸：60×60mm

• 分辨率可達(dá)5nm

• 可選配閉環(huán)傳感器

典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 掃描顯微

• 干涉/計(jì)量

• 表面檢測

• 晶圓定位

• 微操作

頻率負(fù)載曲線

穩(wěn)定性好 響應(yīng)速度快

P17系列壓電掃描臺(tái)為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速、高精度掃描臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm的位移行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺(tái)體中心60×60mm大通孔，適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

階躍時(shí)間

P17.XY200S負(fù)載10g達(dá)滿行程的響應(yīng)時(shí)間約30ms。

應(yīng)用實(shí)例

P17系列壓電掃描臺(tái)適用于需要大行程高精度的應(yīng)用，該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動(dòng)晶圓做XY軸187.5μm行程范圍的納米級(jí)精密定位。