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一維Z向小體積直線壓電平臺

更新時間: 2021-04-25

P11.Z100為小體積一維Z向壓電平移臺,平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,機構放大式驅動原理,內置高性能壓電陶瓷,可實現100μm位移。閉環版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有高的導向精度,具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。

壓電定位臺控制精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質,使用過程中不受磁場的影響,壓電定位臺體積小、結構緊湊易于集成。

 

特點

 一維Z向運動

 位移可達100μm

 體積小巧

 毫秒級響應時間

 真空版本可選

 

閉環版本定位精度高 響應速度快

P11.Z100壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本,閉環版本采用高精度傳感器對位置進行實時檢測反饋,配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列閉環壓電控制器可實時對位移進行精密調整,實現納米級的精密定位控制。

P11.Z100系列壓電納米定位臺的響應速度快,配套E52系列壓電控制器可實現0.8ms的階躍時間。

宏微復合機構

P11.Z100配套宏動機構,可組成毫米級行程,納米級分辨率的宏微復合機構平臺。

技術參數

型號P11.Z100

運動自由度Z

行程范圍(0~120V)80μm

行程范圍(0~150V)100μm

閉環傳感器類型SGS

/開環分辨7/4nm

閉環線性度0.05%F.S.

閉環重復定位精度0.02%F.S.

俯仰/偏航/滾動<10μrad

/拉力30/10N

運動方向剛度0.3N/μm

空載諧振頻率0.3kHz

/開環空載階躍時間10/0.8ms

承載能力0.8kg

靜電容量1.8μF

材質鋼、鋁

重量100g

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