壓電掃描臺(tái)是專為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度。
如今的各種激光器已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各個(gè)工業(yè)及醫(yī)療領(lǐng)域，而飛秒激光作為微加工等領(lǐng)域的理想光源，正逐漸引發(fā)市場的高度關(guān)注。飛秒激光微加工的過程是將被加工的目標(biāo)元件固定在壓電掃描臺(tái)上，將激光光束聚焦在準(zhǔn)備加工的軌跡始端，調(diào)節(jié)激光能量，按照預(yù)先設(shè)計(jì)好的軌跡移動(dòng)二維壓電掃描臺(tái)進(jìn)行加工，由于壓電掃描臺(tái)的分辨率可達(dá)到納米級(jí)，精度非常高，所以這能大大提高飛秒激光加工系統(tǒng)的加工精度。
飛秒激光結(jié)合高精度壓電掃描臺(tái)加工各種材料的微加工方式，作為激光加工技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)分支越來越受到廣泛的關(guān)注。高精度壓電掃描臺(tái)以其精度高、性能穩(wěn)定等特點(diǎn)已被廣泛應(yīng)用于激光加工領(lǐng)域。
此外，壓電掃描臺(tái)還適用于需要大行程高精度的應(yīng)用，該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動(dòng)晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級(jí)精密定位。
