壓電平臺(tái)是指以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器作為驅(qū)動(dòng)元件，以柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)為支撐導(dǎo)向的微位移運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，是實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)納米控制*的關(guān)鍵部分。在微操作器，磁盤驅(qū)動(dòng)、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、納米壓印、納米操縱等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
該平臺(tái)由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、柔性鉸鏈微位移機(jī)構(gòu)、微位移測(cè)量傳感器和控制系統(tǒng)組成。適用于激光衛(wèi)星通信、激光雷達(dá)、超分辨率光學(xué)成像、光學(xué)測(cè)量、顯微成像、半導(dǎo)體檢測(cè)、表面檢測(cè)、高密度存儲(chǔ)。
壓電納米定位產(chǎn)品具有納米級(jí)分辨率及定位精度，集成到各種相關(guān)儀器及機(jī)械設(shè)備中，從而實(shí)現(xiàn)高精度納米級(jí)定位與運(yùn)動(dòng)。了解壓電納米定位臺(tái)的基本工作原理及性能，來選擇適合您應(yīng)用的壓電納米定位臺(tái)吧。
結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精細(xì)運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)。運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)375μm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有不錯(cuò)的穩(wěn)定性，壓電納米定位臺(tái)在精細(xì)定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
壓電納米定位臺(tái)采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)分辨率。芯明天系列壓電納米定位臺(tái)，配套系列壓電控制，可實(shí)現(xiàn)0.5nm的步進(jìn)分辨率。壓電納米定位臺(tái)由容性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)時(shí)間可快至毫秒級(jí)。芯明天系列納米定位臺(tái)配套大功率系列壓電控制器，可實(shí)現(xiàn)滿幅值階躍時(shí)間為1.5ms。
